江浙滬光聚合型光刻膠顯影
三苯基硫鎓鹽是常用的EUV光刻膠光致產(chǎn)酸劑,也具有枝狀結(jié)構(gòu)。佐治亞理工的Henderson課題組借鑒主體材料鍵合光敏材料的思路,制備了一種枝狀單分子樹脂光刻膠TAS-tBoc-Ts。雖然他們原本是想要合成一種化學(xué)放大型光刻膠,但根據(jù)是否后烘,TAS-tBoc-Ts既可呈現(xiàn)負(fù)膠也可呈現(xiàn)正膠性質(zhì)。曝光后若不后烘,硫鎓鹽光解形成硫醚結(jié)構(gòu),生成的光酸不擴(kuò)散,不會引發(fā)t-Boc的離去;曝光區(qū)域不溶于水性顯影液,未曝光區(qū)域?yàn)殡x子結(jié)構(gòu),微溶于水性顯影液,因而可作為非化學(xué)放大型負(fù)性光刻膠。曝光后若后烘,硫鎓鹽光解產(chǎn)生的酸引發(fā)鏈?zhǔn)椒磻?yīng),t-Boc基團(tuán)離去露出酚羥基;使用堿性顯影液,曝光區(qū)域的溶解速率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于未曝光區(qū)域,因此又可作為化學(xué)放大型正性光刻膠。這個(gè)工作雖然用DUV光刻和電子束光刻測試了此類光刻膠的光刻性能,但由于EUV光刻機(jī)理與電子束光刻的類似性,本工作也為新型EUV光刻膠的設(shè)計(jì)開辟了新思路。光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù),質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù)。江浙滬光聚合型光刻膠顯影
目前國內(nèi)從事半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)包括晶瑞股份、南大光電、上海新陽、北京科華等。相關(guān)企業(yè)以i 線、g線光刻膠生產(chǎn)為主,應(yīng)用集成電路制程為350nm以上。在KrF光刻膠領(lǐng)域,北京科華、博康已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。國內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程相對較快的企業(yè)為南大光電,其先后承擔(dān)國家02專項(xiàng)“高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”,公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成為國內(nèi)通過客戶驗(yàn)證的國產(chǎn)ArF光刻膠,其他國內(nèi)企業(yè)尚處于研發(fā)和驗(yàn)證階段。半導(dǎo)體光刻膠其他助劑光刻膠的國產(chǎn)化公關(guān)正在展開,在面板屏顯光刻膠領(lǐng)域,中國已經(jīng)出現(xiàn)了一批有競爭力的本土企業(yè)。
分子玻璃是一種具有較高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的單分散小分子有機(jī)化合物,其結(jié)構(gòu)為非共面和不規(guī)則,能夠避免結(jié)晶,與產(chǎn)酸劑具有優(yōu)良的相容性。以分子玻璃為成膜樹脂制備的光刻膠能夠獲得較高的分辨率和較低粗糙度的圖形。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機(jī)配體構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu),有機(jī)配體中包含光敏基團(tuán),借助光敏基團(tuán)的感光性及其引發(fā)的后續(xù)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)光刻膠所需的性能。從化學(xué)組成來看,金屬氧化物光刻膠主要為稀土和過渡金屬有機(jī)化合物。
有研究結(jié)果表明,在EUV光照下,某特定光刻膠分子每吸收一個(gè)光子可以產(chǎn)生2.1個(gè)活性物種,這一效率分別是KrF光刻和ArF光刻的6倍和15倍。由于在光刻膠材料中有二次電子的產(chǎn)生,EUV光刻在機(jī)理上與電子束光刻有相近之處。因?yàn)樯逃肊UV光刻機(jī)價(jià)格昂貴,對光刻膠材料研發(fā)人員開放的同步輻射EUV干涉線站機(jī)時(shí)有限,所以近年來,在EUV光刻膠的研發(fā)過程中也常利用電子束光刻開展相關(guān)機(jī)理、工藝研究和基本性能的評測,也有一些尚未實(shí)際應(yīng)用于EUV光刻但已有電子束光刻研究結(jié)果的光刻膠。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,光刻膠可分為 PCB 光刻膠、LCD 光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠,技術(shù)門檻逐漸遞增。
非常常見的單分子樹脂化合物的分子拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)有枝狀(或星形)、環(huán)狀(包括梯形)、螺環(huán)狀以及四面體結(jié)構(gòu)等等。其主要結(jié)構(gòu)通常為具有非對稱、非平面的組分。對于化學(xué)放大光刻膠,芳香環(huán)上會連有酸敏離去基團(tuán)保護(hù)的酸性官能團(tuán)。非對稱、非平面結(jié)構(gòu)可以防止體系因π-π堆積而結(jié)晶,芳香環(huán)的剛性可以確保光刻膠具有較好的熱穩(wěn)定性、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度和抗刻蝕性,酸敏可離去基團(tuán)則可在光酸的作用下使酸性官能團(tuán)裸露出來,實(shí)現(xiàn)溶解性的改變。聚合度越小,發(fā)生微相分離的尺寸越小,對應(yīng)的光刻圖形越小。江蘇彩色光刻膠顯示面板材料
在PCB行業(yè):主要使用的光刻膠有干膜光刻膠、濕膜光刻膠、感光阻焊油墨等。江浙滬光聚合型光刻膠顯影
浸沒光刻:在與浸沒光刻相對的干法光刻中,光刻透鏡與光刻膠之間是空氣。光刻膠直接吸收光源發(fā)出的紫外輻射并發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。在浸沒光刻中,光刻鏡頭與光刻膠之間是特定液體。這些液體可以是純水也可以是別的化合物液體。光刻光源發(fā)出的輻射經(jīng)過這些液體的時(shí)候發(fā)生了折射,波長變短。這樣,在不改變光源的前提條件下,更短波長的紫外光被投影光刻膠上,提高了光刻加工的分辨率。雙重光刻:雙重光刻的意思是通過兩次光刻使得加工分辨率翻倍。實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的的一種方法是在開始光刻過后平移同一個(gè)光罩進(jìn)行第二次光刻,以提高加工分辨率。下圖右展示了這樣一個(gè)過程。下圖右中雙重光刻子進(jìn)行了兩次涂膠,兩次光刻和兩次刻蝕。隨著光刻膠技術(shù)的進(jìn)步,只需要一次涂膠,兩次光刻和一次刻蝕的雙重光刻工藝也成為可能。江浙滬光聚合型光刻膠顯影
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什么是針刺無紡布?針刺無紡布是一種干法非織造布。將短纖維開松、梳理并鋪成纖維網(wǎng),然后用刺針將纖維網(wǎng)增強(qiáng)成布。刺針有鉤子,纖維網(wǎng)被反復(fù)刺破。無紡布、無紡布的鉤刺沒有經(jīng)線緯線,布料中的纖維比較凌亂,經(jīng)緯屬 。
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電動(dòng)推拉棚可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)方式主要分為兩種:手動(dòng)調(diào)節(jié)和自動(dòng)調(diào)節(jié)。手動(dòng)調(diào)節(jié):手動(dòng)調(diào)節(jié)需要通過人工操作來完成,一般需要使用手動(dòng)控制器或者遙控器來控制電動(dòng)推拉棚的開合。手動(dòng)調(diào)節(jié)的優(yōu)點(diǎn)是操作簡單,不 。
硬密封球閥是一種采用金屬對金屬或陶瓷對金屬的密封結(jié)構(gòu),能夠確保各種流體介質(zhì)的控制和輸送的閥門。它具有以下特點(diǎn):1.高密封性能:采用金屬對金屬或陶瓷對金屬的密封結(jié)構(gòu),能夠在高溫、高壓、強(qiáng)腐蝕等惡劣工作環(huán) 。
箱式穩(wěn)流罐是一種用于調(diào)節(jié)流量和穩(wěn)定水流的設(shè)備。它的主要作用是通過穩(wěn)定水流,確保供水系統(tǒng)在工作過程中能夠提供穩(wěn)定的水壓和水流量。具體而言,箱式穩(wěn)流罐的作用包括:1. 平穩(wěn)供水:穩(wěn)流罐能夠平衡供水系統(tǒng)中的 。
篆刻是中國印章的藝術(shù)化形態(tài),承接古璽印一切藝術(shù)元素并加以強(qiáng)化。“篆刻”一詞早出現(xiàn)在《法言·吾子》,是西漢辭賦家揚(yáng)雄的自問自答,其曰:“或問:‘吾子少而好賦?’曰:‘然。童子雕蟲篆刻?!矶唬骸畨逊虿?。
所述螺紋桿的上端還貫穿有位于滑槽下方的隔板,所述隔板下方設(shè)有和螺紋桿相適配的螺母,所述螺紋桿的下方還焊接有連接柱,所述連接柱的下方安裝有沖壓頭。推薦的,所述連接柱和沖壓頭通過螺雙頭螺柱和緊固螺母進(jìn)行連 。
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